Plasmatechnologie und Prozessüberwachung

Seit 1988 ist SURFACE im Bereich der plasmagestützten Oberflächentechnologien tätig.

Aufbauend auf Arbeiten, die an der RWTH in Aachen begonnen wurden, wurden Komponenten und Anlagen für den Bereich der Plasmawärmebehandlung entwickelt. Diese Technik wird in der Zwischenzeit auch von Partnerfirmen in Europa und den USA erfolgreich eingesetzt.

In den letzten Jahren wurden die Hauptkomponenten, Puls-Plasma-Stromversorgung und Prozesssteuerung den fortschreitenden Entwicklungen auf dem Gebiet der Leistungselektronik angepasst.

Heute werden Stromversorgungen gebaut, die bei deutlich geringerem Volumen (nur noch ca. 20 %) wesentlich bessere Leistungsdaten aufweisen, es werden dabei Leistungen von bis zu 300 kW bei 10 kHz Pulsfrequenz erreicht. Schon 1989 erfolgte eine Ausdehnung des Arbeitsgebietes auf andere Gebiete der Dünnschichttechnik. Ein besonderer Schwerpunkt bildet dabei die Halbleitertechnik und der Bereich der Oberflächenanalytik.

SURFACE ist dadurch Ansprechpartner für Produkte der gesamten vakuumgestützten Dünnschichttechnik. Mit dem Einzug in das GSZH erfolgt eine erneute Erweiterung des Aufgabengebietes. Mit einem Team von Physikern und Ingenieuren werden zum einen kundenspezifische Anlagen der Hochvakuum- und Ultrahochvakuumtechnik hergestellt, zum anderen werden Anlagen entwickelt und gefertigt, welche plasmatechnische Verfahren in vielfältiger Weise industriell einsetzen.